半導体工場火災を防ぐために、装置の安全性規格への適合を確認しよう!

*最近、半導体製造工場で火災事故が2件発生しています。
・原因は、過電流に対する保護機能の不備による発火と、発火後のプラスチック材への延焼で、燃え広がったようです。
・過電流による発火の例
過電流による発火


*この様な事故を起こさないために、半導体製造装置の安全規格である「IEC 60204-33規格」の要求事項に適合させることは、事故防止に効果があると思われます。


・この規格には、今回の原因である過電流保護の保護を設けることが「7.2項.過電流保護」に記載されています。
・又、この規格では「その他の各種危険」について、「保護の要求」も記載されています。


*今後も同様な事故を防ぐために、すでに稼働中の「現状機の過電流保護」の「有無と有効性」について、見直しましょう。


*参考:
・半導体製造装置の安全規格(IEC 60204-33)の体系図→役立資料ページ
・家電品の火災事故では下の情報があります。
 Which Causes Most Fires? Washing Machines, Irons or Tumble Driers?(出火件数が多いのは?洗濯機、アイロン、タンブル乾燥機?)
火災事故対応で見るルネサスの大きな変貌.
・その後:ルネサス那珂工場、電源盤から煙…今月17日に一部再開したばかり

・半導体工場の火災、原因はめっき装置の過電流による発火.

投稿者: 「EMC&Safety/CE」コンサルタント

*CEマーキング、EMC,LVD,UL等をサポート。 ・iNARTE認定(EMC & Safety)、東京都立産業技術研究センター・MTEP専門相談員